Pel·lícula fina de niòbat de liti (LiNbO3).
La pel·lícula fina de niobat de liti (LiNbO3) és un material bàsic per a la fotònica integrada i els dispositius d'ones acústiques superficials, jugant un paper insubstituïble en moduladors òptics, guies d'ones, sensors i filtres de RF d'alt rendiment a causa de les seves excel·lents propietats electro-òptiques, acústiques-òptiques i no lineals. Compta amb un alt índex de refracció, una àmplia finestra de transparència, un fort coeficient electro-òptic i una bona estabilitat química, que permet una modulació eficient del senyal òptic i una transmissió de baixa-pèrdua. Tanmateix, la qualitat superficial de les pel·lícules primes de LiNbO3 afecta directament la pèrdua òptica, l'eficiència de modulació i la fiabilitat del dispositiu, especialment en aplicacions d'alta-freqüència i alta-potència, que exigeixen una rugositat, planitud i integritat de la superfície superiors.
Hemei Company té una experiència sistemàtica en el processament de pel·lícules òptiques avançades i materials de cristall. Hemei, orientat a les característiques del material de les pel·lícules primes de LiNbO3, ha desenvolupat una solució de polit i planarització que aconsegueix una alta precisió superficial alhora que minimitza els danys sub-la superfície. Aquest procés cobreix tot el flux de treball de tractament de superfícies, des de la preparació de la pel·lícula epitaxial fins a la integració posterior del-dispositiu, assegurant que compleixi els estrictes requisits de superfícies llises de nivell-atòmic, baixa pèrdua de dispersió i excel·lent uniformitat òptica que exigeixen la comunicació òptica d'alta-velocitat, l'òptica quàntica i els sistemes de RF.
Requisits d'aplicació
Els objectius per al polit i el tractament superficial de les pel·lícules primes de LiNbO3 inclouen:
Reducció de la rugositat superficial (Ra) a< 0.5 nm to minimize transmission loss in waveguides and insertion loss in modulators.
Aconseguint una variació total de gruix (TTV) de Menor o igual a 1 μm per garantir la consistència en la distribució del camp òptic i elèctric.
Obtenció d'una superfície-libre de danys sense defectes de la-superfície, que compleixi els requisits d'alta eficiència de modulació i una llarga vida útil del dispositiu.
Control de la uniformitat del gruix (TTV) dins d'un interval de-micròmetre específic.
Per assolir aquests objectius, el procés d'Hemei utilitza sistemes d'unió personalitzats i procediments de poliment de diversos-passos per garantir la precisió geomètrica i la integritat de la superfície durant el processament.
Especificacions del sistema
El sistema de poliment modular d'Hemei admet el processament de pel·lícules primes de LiNbO3 de diferents mides i formes. Els sistemes bàsics inclouen:
HSM-Equip de lligat de la sèrie L/LP: per a l'eliminació inicial del material i el control del gruix.
Sistema de poliment mecànic químic (CMP) de la sèrie HSM-CMP: per aconseguir superfícies ultra-llises i lliures de danys-.
Els subsistemes clau inclouen:
Unitat d'enllaç (WB) específica de l'hòstia/cristall{0}
Accessoris de poliment de precisió de la sèrie SJ/ASJ
C-Sistema de poliment d'alta velocitat del capçal d'accionament ASJ-
Flux de processament
Unió i muntatge: la pel·lícula fina de LiNbO3 s'uneix temporalment a una placa portadora mitjançant la unitat WB i després es munta a l'aparell de poliment.
Polit en brut i intermedi: es realitza un llapat controlat a l'equip HSM-L per eliminar la capa de danys de processament.
Poliment fi: el sistema HSM-CMP realitza el polit final. Paràmetres com la pressió, la velocitat de rotació i el flux de purins s'ajusten en-temps real per aconseguir una suavitat de la superfície a nivell nanomètric-.
Resultats típics
Rugositat superficial (Ra) reduïda a< 0.5 nm.
Variació total del gruix (TTV) Inferior o igual a 1 μm.
Superfície-libre de danys sense defectes-subsuperficials.
Velocitat d'eliminació de material controlable de 0.05 - 0.2 μm/min.
Hemei Company ofereix una solució de polit i planarització completa i controlable per a pel·lícules primes de niobat de liti. Aquesta solució ofereix de manera estable una qualitat de superfície a nivell-atòmic i un excel·lent rendiment fotoelèctric, donant suport de manera robusta a l'aplicació industrial i a la millora del rendiment de les pel·lícules primes de LiNbO3 en camps-avantguardistes com ara la comunicació òptica d'alta-velocitat, els xips fotònics integrats, la fotònica de microones, la detecció i el processament d'informació quàntica.
